Ｘ線光電子分光分析（XPS）　表面分析（ワイドスキャンのみ）

極表面に、どのような元素が存在するか分析することができます。
試料表面の極薄い層（数nm）の元素分析（水素、ヘリウム以外）、半定量分析（検出限界～0.1at%程度）を行います。
金属や半導体、酸化物、セラミックス、有機物などの絶縁物試料等、超高真空試料室内に導入可能なあらゆる固体が対象です。

アルバック・ファイ社製　Quantera SXM
・ビーム径9µm～200μmでの微小部分析
・試料サイズW70×D70×H18mm 以下

用途・応用例
・目視、顕微鏡では確認できない表面の汚染、吸着、付着物分析
・表面改質評価
・金属薄膜の組成、化学結合状態の評価
・物質表面のしみ、変色分析
・電子材料の故障解析
・光触媒の劣化解析

料金について

料金表番号	試験名	単位	料金
K5002	Ｘ線光電子分光分析（XPS）　表面分析（ワイドスキャンのみ）	１試料１ヶ所につき（ワイドスキャンのみ）	26,950円
K5005	Ｘ線光電子分光分析（XPS）　表面分析（ワイドスキャンのみ　追加試料）	追加１試料１ヶ所につき（ワイドスキャンのみ）	21,120円
K5007	Ｘ線光電子分光分析（XPS）　表面分析（ワイドスキャンのみ　条件増）	１条件増すごとに（ワイドスキャンのみ）	5,610円

使用する機器について

この試験に使用する機器は以下の通りです。

担当部署

川崎技術支援部　材料解析グループ

分類

溝の口支所　試験計測　|　材料解析分野　|　機器分析　走査型X線光電子分光分析装置（μ-XPS・μ-ESCA）